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賽可臺式掃描電鏡SNE-4500M PLUS概述
2017年8月上市的以人性化操作為中心的New Model產品。自動軸的功能使樣品位置移動更迅速。搭載Top-View View,尋找樣品位置不是問題。
4500M Plus 主要由 A Type 和 B Type兩種構成。
賽可臺式掃描電鏡SNE-4500M PLUS特點
★ 樶大放倍率150,000倍(分辨率 : 5nm)
★ Fully Motorized Stage (5-Axis)
(X , Y, Z : 0 to 40mm, Tilt :-45? to 90, Rotation : 360? )
★ Top-View CAMERA
Navigation Mode (Click → Go)
★ Recipe Function :搭載位置及分析條件雙重記憶功能
A Type SE Detector & High Vacuum System
B Type A + BSE Detector & Low Vacuum System